亚洲国产精品线播放_久久精品亚洲综合专区_婷婷大香蕉伊人_赤坂丽深闺性奴完整版_91麻豆香蕉精品国产一区二区三区 _99精品视频在线观看30_视频在线免费观看欧洲乱码_精品久久中文网址_欧美日韩人体在线观看_精品久久久久无码人妻热

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >北京航空航天大學:研制成功的高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器

北京航空航天大學:研制成功的高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器

更新時間:2025-03-10   點擊次數:260次

由懸浮石墨烯制成的納米機械諧振器對壓力變化表現出高靈敏度。然而,由于空氣阻尼,這些設備在非真空環境中表現出明顯的能量損失,以及由于石墨烯的輕微滲透,參考腔內不可避免地出現微弱的氣體泄漏。研究提出了一種利用微電子機械系統技術的新型石墨烯諧振壓力傳感器,其特點是將多層石墨烯膜密封在真空中,并粘附在帶有凹槽的壓敏硅膜上。

這種方法創新性地采用了間接敏感的方法,在大氣中表現出60倍的能量損失,并解決了基底和石墨烯之間長期存在的氣體滲透問題。值得注意的是,所提出的傳感器表現出1.7Hz/Pa的高壓力靈敏度,比硅的同類產品的靈敏度高5倍。


此外,全光封裝腔結構有助于實現6.9×10-5 Pa-1的高信噪比和低溫度漂移(0.014%/?C)。所提出的方法為使用二維材料作為敏感膜的壓力傳感器的長期穩定性和能量損失抑制提供了一個很好的解決方案。


本文報道了MOEMS石墨烯諧振壓力傳感器,其特點是通過陽極鍵合實現了10-3Pa的真空封裝,大大降低了壓力差下基底和石墨烯之間高空氣阻尼和氣體滲透造成的能量損失。總的來說,所提出的傳感器為提高信噪比和實現二維材料諧振傳感器的可靠使用提供了一個有前途的解決方案。

來源:傳感器專家網

服務熱線
13430557816

關注公眾號

熟女16p| 一本一本久久a久久精品综合妖精| 国产aa视频| 一区二区三区激情啪啪视频| 丝袜无码中文| 精品国产91久久久久久黄无码4438 | 国产av一区二| 人人操一区| 一级丰满老熟女毛片AV| 国产一x| 超碰国在线| 好吊视频一区二区三区| 婷婷丁香在线| 九色91丶一| 久久国产亚洲精品五月香婷| 日本性精品| 啪啪导航| 国产精品一区二区三区久久| 精品无码网站| 国产婷婷一区二区三区久久| 日本熟妇性生活在线视频| 亚洲视频第一页| 欧美一级性生活片| 丝袜美女亚洲天堂| 九九热在线视频| 91爽爽| 亚洲欧洲无码AAA片在线观看| 欧美操大黑BBB视频| 高清一区无码| 色婷婷AV国产精品| 美女精品人人| 我跟闺蜜公交车被弄到高潮| 亚洲乱码中文字幕久久孕妇黑人| 国产色婷婷AV网| 亚洲免费av网| 91无码人妻精品一区二区蜜桃| 99视频激情四射| 婷婷五月天国产激情不卡| 亚洲AV高清无码| 秋霞无码av| 精品人妻一区二区三区日产乱码|